CMOS-MEMS惯性传感器的原理和应用
[摘要]
资料介绍
主要内容:MEMS和CMOS-MEMS技术、薄膜CMOS-MEMS、DRIE CMOS-MEMS、流程开发和改进、集成CMOS-MEMS惯性传感器、MEMS惯性传感器:应用。
 
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资源大?。?/span>2.56MB
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上传时间:2019/03/14